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“我們研究這一過程透過光刻來實現,”
“光刻的工藝水平直接決定晶片的製程水平和效能水平”
“我們的晶片在生產中需要進行 20-30 次的光刻,”
“耗時佔到 Ic 生產環節的 50%左右,佔晶片生產成本的1\/3 ”
“光刻機為了在國際市場上方便交流我們給他賦予了一個英文名字”
“lithography”
“光刻機我們又別名的叫他,掩模對準曝光機、曝光系統、光刻系統”
“ 我們全球半導體集團經過長期的研究才成功的研發出來了光刻機”
“他的工作原理是在諸如矽片的基底表面覆蓋一層具有高度光敏感性的光刻膠,”
“再採用特定光,”
“一般來說是紫外光、深紫外光、極紫外光透過包含目標圖案資訊的掩模版照射在基底表面,”
“在被光線照射到的光刻膠會發生反應,”
“因此,在顯影后被照到的區域會產生與未被照到的區域不同的效果”
“當然這種情況也是主要依賴於光刻膠的性質來決定的”
“張成先生這麼說這個光刻機用到的光刻膠是很關鍵的東西了?”
“是的,麥斯先生”
“這種光刻膠是我們全球半導體集團歷經千辛萬苦的才實驗研發成功的”
在兩人對話的時候,在隊伍中有個人忽然之見恍然大悟了。
這個人就是美國光刻機的研發公司派來混在這次到訪的隊伍中的一員。
他是美國光刻機公司透過關係插入進去的。
而他的使命就是了解清楚全球半導體集團的光刻機工作原理。
所以張成說的光刻膠的時候他作為一個專業人士立馬就理解了。
才恍然大悟的。
之前自己等人是走入死衚衕了,這才在光刻機的研發上走入了奇道的才說是被中國人超越了 。
“張成先生麻煩問一下你能不能夠給我們介紹一下這種光刻膠?”
“可以的麥斯先生”
“ 光刻膠是聚合物和一些化合物的混合物”
“這種化合物是我們經歷了無數次的實驗調和而成的”
“在這種化合物中最重要的是一種光致酸產生劑”
“英文名字叫做photo Acid Generator, pAG”
“每當光子打到pAG上”
“會產生一種酸,”
“這種酸會與聚合物發生反應,將聚合物分解,這樣聚合物就會被顯影液溶解 ”
“顯影液也就是英文名字”
“developer ”
“這種光刻機也是有著種多樣的”
“麻煩你介紹一下”
“好的,麥斯先生”
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