第1002章 有錢沒人

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星期六上午十點，葉小剛帶著燕子和陳莉莉曾宏民來到張哥家裡，看到張市和韓主任國資委盛總已經等候在客廳裡，急忙上前微笑伸手與張市韓主任盛總幾人一一握手。張哥急忙招呼葉小剛和燕子等人坐下。

韓主任看到張市衝著自己微微點頭後看向葉小剛笑道“我已經向張市彙報過了，張市對國興機床公司出資單獨研發很高興。前幾天我也去過國興機床公司，幾位教授對光刻機的研發也很有信心。相信不久的將來國興機床一定能研發出處於領先國內的光刻機。”

盛總略顯尷尬的笑道“葉老闆，要不是市裡實在拿不出錢來，我是真想繼續投資進國興機床。不過我也相信國興機床有了葉老闆的追加研發資金，明年一定能夠研發成功。”

葉小剛愕然看著韓主任和盛總，停頓片刻後看向張市，面對著張市期盼的眼神不禁苦著臉重新看向韓主任和盛總二人“兩們領導啊，我可沒得罪過你們吧。給我挖這麼大一個坑。”

張市眉頭微皺看著張哥，張哥立刻疑惑問道“葉老弟是對研發光刻機沒信心？你不是說過明年準備追加五十億嗎？”

葉小剛搖頭長嘆道“我們國家1965年中國科學院就研製出65型接觸式光刻機。

1970年代，中國科學院開始研製計算機輔助光刻掩模工藝。.

1972年，武漢無線電元件三廠編寫《光刻掩模版的製造》。

1977年，我國最早的光刻機-GK-3型半自動光刻機誕生，這也是一臺接觸式光刻機。

1978年，1445所在GK-3的基礎上開發了GK-4，但還是沒有擺脫接觸式光刻機。

1980年，清華大學研製第四代分步式投影光刻機獲得成功，光刻精度達到3微米，接近國際主流水平，只是成品率很低。

1981年，中國科學院半導體所研製成功JK-1型半自動接近式光刻機，也是一臺樣機，沒有量產過產品。

1982年，科學院109廠的KhA-75-1光刻機，這些光刻機在當時的水平均不低，最保守估計跟當時最先進的canon相比最多也就不到4年，當然，也是沒有量產過。

1985年，機電部45所研製出了分步光刻機樣機，透過電子部技術鑑定，認為達到美國4800dSw的水平。這應當是中國第一臺分步投影式光刻機，中國在分步光刻機上與國外的差距不超過7年。但是很可惜，光刻機研發至此為止，中國開始大規模引進外資，有了\\\"造不如買”的思想。光刻技術和產業化，停滯不前。放棄電子工業的自主攻關，諸如光刻機等科技計劃直接被取消了。

九十年代以來，光刻光源已被卡在193奈米無法進步長達十幾年，這個技術非常關鍵，這直接導致ASmL和臺積電線上如此強勢的關鍵，也是島國尼康的光刻機消敗的關鍵時期。

直接最近幾年， 光刻機研發重新被我們重視起來，可以說我們現在做這個東西，難度不亞於生產大飛機，影響力不低於當初研究原子彈。

前幾年剛剛成立的SmEE滬市微電子裝備有限公司承擔了“十五”光刻機攻關專案，中電科45所把此前從事分步投影光刻機的團隊遷到了滬市，參與這個專案。”

說完看了眼皺眉不語的張市韓主任幾人後又道“而我們的團隊只有六個教授主導，雖然這六位教授在數控和光學專案上有所建樹。可要跟滬市的團隊相比，實力有著天壤之別的差距。而我們的光刻機停滯不前的這二十年裡正是荷蘭ASmL公司進入光刻機領域的時間，研發團隊全是世界上頂尖的半導體科技專業人才，生產一個光刻機光零件就需要幾萬個甚至十幾萬個，有些重要的零件早就被這些廠家申請了專利，想要使用他們的這些零件就必須向