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們的目標,它們必須在正確並精確的瞬間到達;否則,衝擊力將無法壓平錫珠。
3)鐳射束以極大的功率穩定傳輸,同時還要準確無間的和其他部件協作,系統的複雜性極高,研究光源的同時,其他部分也需要同時開啟研發。
從這兩個目標的大綱規劃來看,第一個目標相對容易,有現成的研究成果支撐,只需要不斷的調整即可。
最難的是第二個工程,EUV光刻機的技術論證是一個極其龐大的過程,李樹的超級資料庫裡,雖然已經有成熟的整機可供參考,不過以目前現實的技術條件來說,最關鍵的部分還是難以開始。
可以確定的是,西方發達國家已經從現在開始了對EUV光刻機的研究工作,同時傾注了大量的財力和人力,華夏雖條件不如人家,可也要奮起直追了。
馬瑤翻了一會兒複雜的技術資料,嘆了一口氣道:“第一個目標倒是隻需要花時間即可,可第二個目標極紫外光光刻機的第一步就難住咱們了,超過30Kw的鐳射脈衝儀器,其中涉及的材料好複雜,很多目前國際上都還沒有。”
“就是要做目前國際上沒有的,相關的理論技術我已經完成整理,咱們一步一個腳印的突破即可!”李樹鼓勵道。
為了產生大功率的鐳射脈衝,李樹首先想到的是鎖模技術。
鎖模鐳射器裡第一個要攻克的是鈦寶石鐳射晶體,現在這種晶體倒是能滿足普通的低功率鐳射脈衝,可要滿足30kw的鐳射脈衝,就需要再次基礎上提高指標了。
即便在未來,鈦寶石鐳射晶體都是對華夏禁運的只能自己製造。
“小瑤,未來咱們先建立完整的晶體生長體系,你應該這樣來搭建……”李樹開始和馬瑤討論起來。
聽著李樹詳細的介紹,馬瑤一開始很感興趣,不過慢慢的開始皺眉,她嘆了一口氣道:“這麼多步驟,需要這麼多裝置,危險性還這麼大,錢又不夠花了。”
李樹笑了笑道:“這個專案不能單靠咱們振藍了,我要想著和科學院周院長商量,讓高層想想辦法,為這個大國重器想想辦法。”
今天的兩個目標之外,其實還有一個迫在眉睫的目標,那就是向國家要錢。
李樹有信心要到這個錢,因為專家和高層應該知道,為光刻機研發高效能的鈦寶石其實有很多好處,不但能用於光刻機,還能用於軍工、基礎物理研究等方面。
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