第114章 趙陽的光刻機和第一枚晶片
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型與p型半導體,完成電晶體的形成。
反覆檢查後,趙陽確認晶片的晶片結構與設計完全一致,沒有缺陷。
第一枚晶片終於誕生了!
雖然只有約5毫米見方,但卻包含了上百個電子元件。
這在現在已經相當了不起。
趙陽清楚,晶片的重要意義在於實現電路元件的大規模整合。
利用普通獨立的電子器件實現計算機需要巨大的空間,但是晶片技術的出現,可以在幾平方毫米的晶片上容納數億個電晶體,與之相比,再先進的離散元件也無可比擬。
晶片的高度整合特性,使得計算機等數字產品開始日益小型化和智慧化。
資料處理能力得以指數型增長,使得許多看似不可能的事物都成為了現實。
比如人工智慧、自動駕駛等。
可以說,晶片技術導致了一場毫無誇張的產業革命,它影響的每個行業都將因此煥然一新。
趙陽心中其實早已構想出無數奇幻的應用方向,比如工業機器人、醫療診斷裝置、高速交通系統等,都可以藉助晶片的計算能力實現智慧化。
但是這一切還需要從基礎做起,只有實現基礎晶片的自主可控生產,才能逐步打造積體電路產業體系,讓種種應用成為可能。
現在第一枚晶片誕生了,這將是種花電子資訊產業發展的新起點。
接下來,他要著手建立小規模的晶片製造線,不斷最佳化工藝流程,提高產能和良率。
然後將這些晶片的運算能力應用到工業生產中,讓機床裝置實現數控化。
計算機的廣泛應用也將從此開始。
到那時,資訊化、自動化將給這個國家帶來深刻的變革,開啟科技快速迭代。
獲得第一枚自主設計的晶片,趙陽滿懷激動之情。
這就像一個科學家看到自己培育出的第一株新物種,充滿期待與喜悅。
他迫不及待地進行了測試, 輸入不同電壓,觀察晶片的輸出響應。
測試結果令人滿意,各個模組的放大倍數和運算結果都符合設計預期,沒有出現故障。
第一枚晶片的運作完全正常,這令趙陽由衷地欣喜。
接下來,他準備著手試製小批次晶片。
這需要進一步完善光刻工藝流程,確保可以穩定再現。
首先,他從加工車間選取了20塊規格一致的晶圓,在每塊晶圓上重複光刻工序,並逐一進行測試,記錄關鍵引數。
這批晶圓的製造結果將用於評估工藝的穩定性和一致性。
同時,他需要確保光刻機的光源強度穩定,對準精度可控,而且要有塵粒過濾系統,不能讓微塵影響晶片製造。
另外,各種腐蝕液的配比也要精確控制,腐蝕時間和溫度都需要細緻把握。
只有這樣,才能保證每片晶片的質量一致可靠。
經過反覆試驗與統計,選定了一套可靠的製程流程,以及對應的裝置引數設定。這樣,就可以正常批產同樣設計的晶片了。
首先,20塊晶圓在清洗艙內用氫氟酸溶液清洗,然後在澱積室內依次進行二氧化矽和鋁的化學氣相沉積。
接下來,將設計電路製作成的掩膜板置於光刻機頂端,啟動光刻曝光。
經過顯影后,進行幹法和溼法蝕刻,最後進行摻雜連結。
如此這般,一批數量有限的晶片就製造出來了。
趙陽將這些晶片小心翼翼地放入感測器進行測試,全部達到了要求。
隨後,他取出一片晶片放在實驗板上進行功能驗證,結果也完全正常。
由此可以判定,這套製程流程已經成熟,可以進行小規
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